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Gelest アプリケーション:MEMS

ブログ
2017/10/25

Gelest アプリケーション:MEMS(micro-electro-mechanical structuresの)

MEMSはmicro-electro-mechanical structuresの略語で、一般的にはモノリシック集積回路(マイクロチップ)製造と同等の、マイクロスケールでの制御技術からつくられる“微小な電気機械システム”を意味します。
中でも機械的センサとアクチュエータの統合には、集積回路製造技術以上の広範な材料技術および考慮を必要とします。
以下、MEMS専用素材を示します。


二酸化ケイ素薄膜-CVD(化学蒸着)前駆体:






製品コード製品名
SIT7110.2TETRAETHOXYSILANE, 99.9+%
SID2790.0DI-T-BUTOXYDIACETOXYSILANE, TECH-96
SID2754.6DIBENZYLOXYDIACETOXYSILANE, TECH-95



UV変換被覆資材
(この資材は遠紫外線照射により二酸化ケイ素へと直接転化されます):



製品コード製品名
SST-BBE1.2POLY(2-BROMOETHYLSILSESQUIOXANE), 14-16% IN METHOXYPROPANOL



反スティクションコーティングーシロキサン類:




製品コード製品名
SIO6705.1OCTAPHENYLCYCLOTETRASILOXANE, 98%
SIT7530.01,3,5,7-TETRAMETHYLCYCLOTETRASILOXANE



反スティクションコーティングーフルオロシラン類:




製品コード製品名
SIT8175.0(TRIDECAFLUORO-1,1,2,2-TETRAHYDROOCTYL)TRIETHOXYSILANE
SIB1710.0BIS(PENTAFLUOROPHENYL)DIMETHOXYSILANE

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