MEMSはmicro-electro-mechanical structuresの略語で、一般的にはモノリシック集積回路（マイクロチップ）製造と同等の、マイクロスケールでの制御技術からつくられる“微小な電気機械システム”を意味します。中でも機械的センサとアクチュエータの統合には、集積回路製造技術以上の広範な材料技術および考慮を必要とします。
