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金属被覆法(メタライゼーション)

Gelestはマイクロエレクトロニクス用途のメタライゼーションに使用される有機金属プレカーサーを各種取り揃えています。シリコン、銅、アルミニウム、チタン、タンタル、タングステンなど、一般的に使用される金属用のプレカーサーを用意しています。これらのプリカーサは揮発性の固体または液体で、典型的なCVDまたはALDプロセスで金属薄膜を蒸着するために使用することができます。典型的な用途としては金属配線や拡散バリアなどが挙げられます。さらに、ゲルストは他の元素の金属化用プリカーサも幅広く提供しています。

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